[MSDS] NF3 (삼불화질소)

SK materials는 2001년 삼불화질소를 국내 최초로 첫 국산화에 성공하였습니다.

현재 독자적 기술개발과 선제적 증설 투자를 통해 고객에게 최고 품질의

삼불화질소를 안정적으로 공급하고 있습니다.

NF3는 반도체, 디스플레이 및 태양전지의 제조공정에서 사용되며,

CVD 공정 후 Chamber 내부 잔류물을 제거하기 위한 Cleaning 용도로 사용됩니다.

(MSDS 링크첨부)  NF3 (삼불화질소) MSDS