[MSDS] Si2H6 (디실란)

Si2H6는 반도체 미세화 공정에 사용되는 가스로서,

박막 증착 시 저온에서 고속으로 균일한 막질을 형성하기 위한 용도로 사용됩니다.

(MSDS 링크첨부)  Si2H6 (디실란) MSDS