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MSDS
4월 24, 2019
[MSDS] SiH2Cl2 (DCS, 디클로로실란)
SiH2Cl2는 반도체 제조공정에서 질화막(SixNy) 증착 시 사용됩니다.
(MSDS 링크첨부)
SiH2Cl2 (DCS, 디클로로실란) MSDS
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