[MSDS] SiH3Cl (MCS, 모노클로로실란)

SiH3Cl(MCS)는 반도체 및 디스플레이 공정용으로 사용되는 Precursor의 원재료입니다.

(MSDS 링크첨부)  SiH3Cl(MCS, 모노클로로실란) MSDS