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MSDS
4월 24, 2019
[MSDS] SiH4 (모노실란)
SiH4는 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조공정에서 사용되며,
Si 절연막,
Si 반사방지막 형성시 사용됩니다.
(MSDS 링크첨부)
SiH4 (모노실란) MSDS
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