ICP-OES, ICP-MS

Model 종류: Thermo Scientific/iCAP 6500 Duo , Perkin-Elmer/DRC 2 , Perkin-Elmer/NEXION 2000S

분석 적용처 : 미량의 무기성분 정성/정량, Gas(NF3, WF6, SiH4, etc.) 중의 Metal Impurity 분석
분석 범위 : ~ ppt