GC, GC-MS

Detector 종류 : PDD, TCD, FID, MS
Model 종류: Bruker/450-GC , Scion/456-GC , Ldetek/Multidetek2 , Perkin-Elmer/Clarus600

분석 적용처 : Gas (ex. NF3, WF6, SiH4, etc.) 내 유/무기성분 분석, 정량 및 농도분석
분석 범위 : ppb ~ %